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❂ 108c 真空镀碳仪

108c真空镀碳仪主要适用于扫描电子显微镜（ sem ）和电子探针等分析表征设备的样品镀碳处理。程序化的蒸发反馈控制技术保证了成膜质量。同时，该产品结构合理紧凑，易于操作，抽放气周期较快。

❂  产品特性

1、电流、电压检测器和先进的反馈控制技术使得镀碳过程稳定、高效。

2、脉冲、连续模式随意切换。

3、提供“手动”和“自动”两种模式。

❂产品参数

产品参数
腔体尺寸	ф150mm×h165mm
蒸发源	ф6.15mm高纯碳棒
样品台	12插孔，高度30mm可调真
空度大气	-0.01mb
工作电流	0-200a

108系列真空泵技术参数表
配置构型	高速；直接驱动；两级
转速	2.5m³/hr@ 50hz
极限真空	6×10-3 mbar
额定功率	150 w @ 50 hz
法兰连接	nw/kf 16 (intake and exhaust)
填充油量	0.4 ltr
泵油类型	pfeiffer p3
额定电压	220-240v (specify on order)

❂  mtm-10高分辨膜厚检控仪 （ 选配 ）

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