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仪器资讯丨108c 真空镀碳仪 carbon coater 108c/auto


  2020-08-11

作者:

  226


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❂ 108c 真空镀碳仪

108c真空镀碳仪主要适用于扫描电子显微( sem )和电子探针等分析表征设备样品镀碳处理。程序化的蒸发反馈控制技术保证了成膜质量。同时,该产品结构合理紧凑,易于操作,抽放气周期较快。


❂  产品特性

1、电流、电压检测器和先进的反馈控制技术使得镀碳过程稳定、高效。

2、脉冲、连续模式随意切换。

3、提供“手动”和“自动”两种模式。


产品参数

产品参数

腔体尺寸

ф150mm×h165mm

蒸发源

ф6.15mm高纯碳棒

样品台

12插孔,高度30mm可调真

空度大气

-0.01mb

工作电流

0-200a

108系列真空泵技术参数表

配置构型

高速;直接驱动;两级

转速

2.5m³/hr@ 50hz

极限真空

6×10-3 mbar

额定功率

150 w @ 50 hz

法兰连接

nw/kf 16 (intake and exhaust)

填充油量

0.4 ltr

泵油类型

pfeiffer p3

额定电压

220-240v (specify on order)


❂  mtm-10高分辨膜厚检控仪 ( 选配 )


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