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仪器资讯丨108 auto sputter coater 108a 小型离子溅射仪


  2020-08-11

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❂ 108a 小型离子溅射仪

108a 小型离子溅射仪是较为常用的样品导电预处理设备,主要应用于扫描电子显微(sem)和x射线微观分析等仪器的样品前处理阶段。其工作原理是在真空条件下,用高速离子轰击靶材,使靶材原子溅射出来,迁移到样品表面形成镀膜,以增加样品的导电性。在实际应用中,可根据不同的样品特性和观察目的来选配不同材质的靶材。


❂  产品特性   

 1、提供“自动”和“手动”两种操作模式。2、可以通过参数控制或膜厚监控仪(选配)来实现镀膜的可重复性。3、可根据成膜速率和真空度调控工作电流,以获得高质量镀膜效果。4、采用直流磁控管“低压低温”溅射,减少对试样的热影响。5、结构设计合理,可快速更换溅射靶材。产品参数


 技术参数表

腔体尺寸

120mm od×120mm height(4.75x 4.75")

靶材

标配au 选配au:pd, pt, pt:pd

规格57mm dia×0.1mm thick

样品台

12 孔sem 钉型样品台支架 高度60mm可调

真空度

大气压 - 0.001mb

工作电压

200-240v, 50hz

工作功率

300w


❂  mtm-10高分辨膜厚检控仪 ( 选配 )

该产品是通过收集顶部石英晶体的振荡频率的变化信号来检测溅射膜厚。分辨率为0.5nm。可原位量化溅射膜厚,便于实现镀膜的可重复性


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